GB/T 42902—2023

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GB/T 42902—2023碳化硅外延片表面缺陷的测试激光散射法.pdf，行业分类冶金。

此标准描述了激光散射法测试碳化硅外延片表面缺陷的方法。

此标准适用于4H-SiC外延片的表面缺陷测试。

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