GB/T 43612—2023碳化硅晶体材料缺陷图谱.pdf， 行业分类电气工程。
此标准规定了导电型4H碳化硅（4H-SiC)晶体材料缺陷的形貌特征，产生原因和缺陷图谱。
此标准适用于半导体行业碳化硅（晶锭、衬底片、外延片及后续工艺）的研发、生产及检测分析等环节。
GB/T 43612—2023碳化硅晶体材料缺陷图谱.pdf， 行业分类电气工程。
此标准规定了导电型4H碳化硅（4H-SiC)晶体材料缺陷的形貌特征，产生原因和缺陷图谱。
此标准适用于半导体行业碳化硅（晶锭、衬底片、外延片及后续工艺）的研发、生产及检测分析等环节。