GB/T 43313—2023碳化硅抛光片表面质量和微管密度的测试 共焦点微分干涉法.pdf， 行业分类冶金。
此标准规定了4H碳化硅抛光片表面质it和微管密度的共焦点微分干涉测试方法。
此标准适用于直径为50.8mm、76.2mm、100mm、150mm、200mm，厚度范围为300μm~1000μm碳化硅抛光片的表面质量和微管密度的测试。
GB/T 43313—2023
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此标准规定了4H碳化硅抛光片表面质it和微管密度的共焦点微分干涉测试方法。
此标准适用于直径为50.8mm、76.2mm、100mm、150mm、200mm，厚度范围为300μm~1000μm碳化硅抛光片的表面质量和微管密度的测试。