GB/T 43493.2—2023半导体器件 功率器件用碳化硅同质外延片缺陷的无损检测识别判据 第2部分：缺陷的光学检测方法.pdf， 行业分类电子学。
此标准提供了在商用碳化硅（SiC）同质外延片产品上缺陷光学检测的定义和方法。主要是通过给出这些缺陷的光学图像示例，为SiC同质外延片上缺陷的光学检测提供检测和分类的依据。
此标准主要论述缺陷的无损表征方法，因此有损表征例如湿法腐蚀等不包含在此标准范围内。
GB/T 43493.2—2023半导体器件 功率器件用碳化硅同质外延片缺陷的无损检测识别判据 第2部分：缺陷的光学检测方法.pdf， 行业分类电子学。
此标准提供了在商用碳化硅（SiC）同质外延片产品上缺陷光学检测的定义和方法。主要是通过给出这些缺陷的光学图像示例，为SiC同质外延片上缺陷的光学检测提供检测和分类的依据。
此标准主要论述缺陷的无损表征方法，因此有损表征例如湿法腐蚀等不包含在此标准范围内。