GB/T 1557—2018硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法.pdf, 行业分类冶金。
此标准规定了采用红外光谱法测定硅单晶晶体中间隙氧含量的方法。
此标准适用于室温电阻率大于0.1cm的N型硅单晶和室温电阻率大于0.5cm的P型硅单晶中间隙氧含量的测定。以常温红外设备测试时,氧含量(原子数)测试范围从1X1016cm-3到硅中间隙氧的最大固溶度;以低温红外设备测试时,氧含量(原子数)的测试范围从0.5X1015cm-3到硅中间隙氧的最大固溶度。
GB/T 1557—2018硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法.pdf, 行业分类冶金。
此标准规定了采用红外光谱法测定硅单晶晶体中间隙氧含量的方法。
此标准适用于室温电阻率大于0.1cm的N型硅单晶和室温电阻率大于0.5cm的P型硅单晶中间隙氧含量的测定。以常温红外设备测试时,氧含量(原子数)测试范围从1X1016cm-3到硅中间隙氧的最大固溶度;以低温红外设备测试时,氧含量(原子数)的测试范围从0.5X1015cm-3到硅中间隙氧的最大固溶度。