GB/T 14144—2009硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法.pdf， 行业分类电气工程。
u3000u3000此标准采用红外光谱法测定硅晶体中间隙氧含量径向的变化。此标准需要用到无氧参比样品和一套经过认证的用于校准设备的标准样品。 u3000u3000此标准适用于室温电阻率大于0.1Ω·cm的n型硅单晶和室温电阻率大于0.5Ω·cm的p型硅单晶中间隙氧含量的测量。
GB/T 14144—2009
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u3000u3000此标准采用红外光谱法测定硅晶体中间隙氧含量径向的变化。此标准需要用到无氧参比样品和一套经过认证的用于校准设备的标准样品。 u3000u3000此标准适用于室温电阻率大于0.1Ω·cm的n型硅单晶和室温电阻率大于0.5Ω·cm的p型硅单晶中间隙氧含量的测量。