GB/T 42905—2023碳化硅外延层厚度的测试 红外反射法.pdf， 行业分类冶金。
此标准描述了采用红外反射法测试碳化硅外延层厚度的方法。
此标准适用于n型掺杂浓度大于1×1018cm-3的碳化硅衬底上同质掺杂浓度小于1×1016cm-3的同质碳化硅外延层厚度的测试，测试范围为3μm~200μm。
GB/T 42905—2023
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此标准描述了采用红外反射法测试碳化硅外延层厚度的方法。
此标准适用于n型掺杂浓度大于1×1018cm-3的碳化硅衬底上同质掺杂浓度小于1×1016cm-3的同质碳化硅外延层厚度的测试，测试范围为3μm~200μm。