GB/T 42895—2023微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS微结构弯曲强度试验方法.pdf， 行业分类电子学。
此标准描述了硅基MEMS加工所涉及的微结构弯曲强度原位试验的要求和试验方法。
此标准适用于采用微电子工艺制造的微结构弯曲强度测试。
GB/T 42895—2023
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此标准描述了硅基MEMS加工所涉及的微结构弯曲强度原位试验的要求和试验方法。
此标准适用于采用微电子工艺制造的微结构弯曲强度测试。