GB/T 2900.104—2021电工术语 微机电装置.pdf， 行业分类综合、术语学、标准化、文献。
此标准界定了微机电装置的通用、科学与工程、材料科学、功能元素、加工技术、键合装配技术、测量技术和应用相关术语。
此标准适用于微机电技术领域。
GB/T 2900.104—2021
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