GB/T 42897—2023微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法.pdf， 行业分类电子学。
此标准描述了硅基MEMS加工过程中所涉及的纳米厚度膜轴向抗拉强度原位试验的要求和试验方法。
此标准适用于采用微电子工艺制造的纳米厚度膜抗拉强度测试。
GB/T 42897—2023
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此标准描述了硅基MEMS加工过程中所涉及的纳米厚度膜轴向抗拉强度原位试验的要求和试验方法。
此标准适用于采用微电子工艺制造的纳米厚度膜抗拉强度测试。