GB/T 34894—2017微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构应变梯度测量方法.pdf， 行业分类电子学。
此标准规定了基于光学干涉显微镜获取的微悬臂梁结构表面形貌进行应变梯度测量的方法。
此标准适用于表面反射率不低于4％且使用光学干涉显微镜能够获取表面形貌的微悬臂梁结构。
GB/T 34894—2017微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构应变梯度测量方法.pdf， 行业分类电子学。
此标准规定了基于光学干涉显微镜获取的微悬臂梁结构表面形貌进行应变梯度测量的方法。
此标准适用于表面反射率不低于4％且使用光学干涉显微镜能够获取表面形貌的微悬臂梁结构。