GB/T 34899—2017微机电系统（MEMS）技术 基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法.pdf， 行业分类电子学。
此标准规定了拉曼光谱法测定微机电系统（MEMS）结构表面残余应力、相对静态应力、相对动态应力的方法。
此标准适用于微机电系统（MEMS）结构表面残余应力、相对静态应力、相对动态应力的拉曼光谱法测试。
GB/T 34899—2017微机电系统（MEMS）技术 基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法.pdf， 行业分类电子学。
此标准规定了拉曼光谱法测定微机电系统（MEMS）结构表面残余应力、相对静态应力、相对动态应力的方法。
此标准适用于微机电系统（MEMS）结构表面残余应力、相对静态应力、相对动态应力的拉曼光谱法测试。