GB/T 32817—2016

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GB/T 32817—2016半导体器件 微机电器件 MEMS总规范.pdf, 行业分类电子学。

此标准描述了用半导体制造的微机电系统(MEMS)的总规范,规定了用于IECQ-CECC体系质量评定的一般规程,给出了电、光、机械和环境特性的描述和测试的总则。 此标准适用于各类MEMS器件[如传感器、射频MEMS,但不包括光MEMS、生物MEMS、微全分析系统(Micro-TAS)和微能源MEMS]。 u3000u3000

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