GB/T 34893—2017微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构面内长度测量方法.pdf， 行业分类电子学。
此标准规定了基于光学干涉显微镜获取MEMS微结构表面形貌进行面内长度测量的方法。
此标准适用于表面反射率不低于4%，宽深比不低于1:10，且使用光学干涉显微镜能够获取形貌的MEMS微结构。
GB/T 34893—2017微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构面内长度测量方法.pdf， 行业分类电子学。
此标准规定了基于光学干涉显微镜获取MEMS微结构表面形貌进行面内长度测量的方法。
此标准适用于表面反射率不低于4%，宽深比不低于1:10，且使用光学干涉显微镜能够获取形貌的MEMS微结构。