GB/T 32814—2016硅基MEMS制造技术 基于SOI硅片的MEMS工艺规范.pdf， 行业分类电子学。
此标准规定了采用SOI硅片进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和质量检验要求。此标准适用于硅基MEMS制造技术中基于S0I硅片的MEMS器件的加工和质量检验。
GB/T 32814—2016硅基MEMS制造技术 基于SOI硅片的MEMS工艺规范.pdf， 行业分类电子学。
此标准规定了采用SOI硅片进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和质量检验要求。此标准适用于硅基MEMS制造技术中基于S0I硅片的MEMS器件的加工和质量检验。