GB/T 28275—2012硅基MEMS制造技术 氢氧化钾腐蚀工艺规范.pdf， 行业分类电子学。
此标准规定了采用氢氧化钾腐蚀工艺进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求。此标准适用于氮氧化钾腐蚀工艺和管理。
