GB/T 28276—2012硅基MEMS制造技术 体硅溶片工艺规范.pdf， 行业分类电子学。
此标准规定了采用体硅溶片加工工艺进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和工艺评价规范。此标准适用于体硅溶片工艺的加工和质量检验。
