T/IAWBS 012—2019碳化硅单晶抛光片表面质量和微管密度测试方法 ——共焦点微分干涉光学法.pdf，行业分类电子元件及电子专用材料制造。
内容简要 碳化硅作为第三代高功率半导体新材料的代表，碳化硅器件已经获得了业界极大的期望和关注。面向市场的快速普及，对碳化硅抛光片的质量提出更高要求，高品质的呼声越发高涨。因此，快速检测单…
T/IAWBS 012—2019碳化硅单晶抛光片表面质量和微管密度测试方法 ——共焦点微分干涉光学法.pdf，行业分类电子元件及电子专用材料制造。
内容简要 碳化硅作为第三代高功率半导体新材料的代表，碳化硅器件已经获得了业界极大的期望和关注。面向市场的快速普及，对碳化硅抛光片的质量提出更高要求，高品质的呼声越发高涨。因此，快速检测单…