T/IAWBS 010—2019碳化硅单晶抛光片表面质量和微管密度检测方法-激光散射检测法.pdf，行业分类电子元件及电子专用材料制造。
内容简要 随着SiC产业的发展，获得完美表面的SiC单晶抛光片已成为碳化硅材料应用的关键环节之一。为了制造高性能的SiC电力电子器件，要求晶片晶格完整，具有平整度极高的无损伤超平滑表面，…
T/IAWBS 010—2019碳化硅单晶抛光片表面质量和微管密度检测方法-激光散射检测法.pdf，行业分类电子元件及电子专用材料制造。
内容简要 随着SiC产业的发展，获得完美表面的SiC单晶抛光片已成为碳化硅材料应用的关键环节之一。为了制造高性能的SiC电力电子器件，要求晶片晶格完整，具有平整度极高的无损伤超平滑表面，…