GB/T 26111—2023

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GB/T 26111—2023微机电系统(MEMS)技术 术语.pdf, 行业分类电子学。

此标准界定了微机电系统器件及其生产工艺相关的术语和定义。

此标准适用于微机电系统领域的研究、开发、评测和应用。

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