GB/T 35306—2023硅单晶中碳、氧含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法.pdf， 行业分类冶金。
此标准描述了采用低温傅立叶变换红外光谱法测定硅单晶中代位碳、间隙氧含量的方法。
此标准适用于室温电阻率大于1Ω·cm的n型硅单晶和室温电阻率大于3Ω·cm的p型硅单晶中代位碳、间隙氧含量的测定，测定范围（以原子数计）为2.5×1014cm-31.5×1017cm-3。
GB/T 35306—2023硅单晶中碳、氧含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法.pdf， 行业分类冶金。
此标准描述了采用低温傅立叶变换红外光谱法测定硅单晶中代位碳、间隙氧含量的方法。
此标准适用于室温电阻率大于1Ω·cm的n型硅单晶和室温电阻率大于3Ω·cm的p型硅单晶中代位碳、间隙氧含量的测定，测定范围（以原子数计）为2.5×1014cm-31.5×1017cm-3。