GB/T 42263—2022硅单晶中氮含量的测定 二次离子质谱法.pdf， 行业分类冶金。
此标准描述了硅单晶中氮含量的二次离子质谱测试方法。
此标准适用于硼、锑、砷、磷的掺杂浓度小于1×1020cm-3（0.2%）的硅单晶中氮含量的测定，测定范围不小于1×1014cm-3。
GB/T 42263—2022
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此标准描述了硅单晶中氮含量的二次离子质谱测试方法。
此标准适用于硼、锑、砷、磷的掺杂浓度小于1×1020cm-3（0.2%）的硅单晶中氮含量的测定，测定范围不小于1×1014cm-3。