GB/T 42271—2022半绝缘碳化硅单晶的电阻率非接触测试方法.pdf， 行业分类冶金。
此标准描述了半绝缘碳化硅单晶的电阻率非接触测试方法。
此标准适用于测量电阻率范围为1×105Ω·cm~1×1012Ω·cm的半绝缘碳化硅单晶片。
