GB/T 14146—2021硅外延层载流子浓度的测试 电容-电压法.pdf， 行业分类冶金。
此标准规定了电容-电压法测试硅外延层载流子浓度的方法，包括汞探针电容-电压法和无接触电容-电压法。
此标准适用于同质硅外延层载流子浓度的测试，测试范围为4X101310cm-3~81016cm-3，其中硅外延层的厚度大于测试偏压下耗尽层深度的两倍。硅单晶抛光片和同质碳化硅外延片载流子浓度的测试也可以参照此标准进行，其中无接触电容-电压法不适用于同质碳化硅外延片载流子浓度的测试。
GB/T 14146—2021硅外延层载流子浓度的测试 电容-电压法.pdf， 行业分类冶金。
此标准规定了电容-电压法测试硅外延层载流子浓度的方法，包括汞探针电容-电压法和无接触电容-电压法。
此标准适用于同质硅外延层载流子浓度的测试，测试范围为4X101310cm-3~81016cm-3，其中硅外延层的厚度大于测试偏压下耗尽层深度的两倍。硅单晶抛光片和同质碳化硅外延片载流子浓度的测试也可以参照此标准进行，其中无接触电容-电压法不适用于同质碳化硅外延片载流子浓度的测试。