YS/T 1060—2015硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定 气相色谱法.pdf，行业分类制造业。
本标准适用于硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷（包括二氯二氢硅、四氯化硅）含量的测定。测定下限为0.002%。
YS/T 1060—2015
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本标准适用于硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷（包括二氯二氢硅、四氯化硅）含量的测定。测定下限为0.002%。