YS/T 1059—2015

YS/T 1059—2015硅外延用三氯氢硅中总碳的测定 气相色谱法.pdf，行业分类制造业。

本标准适用于硅外延用三氯氢硅中总碳含量的测定，测定范围为0.00005%～0.005%。