GB/T 38447—2020微机电系统（MEMS）技术 MEMS结构共振疲劳试验方法.pdf， 行业分类电子学。
此标准规定了MEMS结构共振疲劳试验的试验方法，包括设备、试验环境、样品要求、试验条件和试验步骤。
此标准适用于MEMS结构的共振疲劳试验。
GB/T 38447—2020
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此标准规定了MEMS结构共振疲劳试验的试验方法，包括设备、试验环境、样品要求、试验条件和试验步骤。
此标准适用于MEMS结构的共振疲劳试验。