GB/T 38446—2020微机电系统（MEMS）技术 带状薄膜抗拉性能的试验方法.pdf， 行业分类电子学。
此标准规定了带状薄膜抗拉性能的试验方法及数据处理。
此标准适用于厚度在50nm到数微米之间且长度和厚度的比值大于300的样品，也可用于MEMS产品带状薄膜结构的质量监控。
GB/T 38446—2020
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此标准规定了带状薄膜抗拉性能的试验方法及数据处理。
此标准适用于厚度在50nm到数微米之间且长度和厚度的比值大于300的样品，也可用于MEMS产品带状薄膜结构的质量监控。