T/CNIA 0061—2020硅外延用四氯化硅中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法.pdf，行业分类电子和电工机械专用设备制造。
内容简要 本标准规定了用电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）测定硅外延用四氯化硅中硼、钠、镁、铝、钾、钙、磷、钛、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、锌、镓、砷、铅元素含量的方法。本标准适用于…
T/CNIA 0061—2020硅外延用四氯化硅中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法.pdf，行业分类电子和电工机械专用设备制造。
内容简要 本标准规定了用电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）测定硅外延用四氯化硅中硼、钠、镁、铝、钾、钙、磷、钛、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、锌、镓、砷、铅元素含量的方法。本标准适用于…