GB/T 16595—2019晶片通用网格规范.pdf， 行业分类电气工程。
此标准规定了可用于定量描述圆形半导体晶片表面缺陷的网格图形。
此标准适用于标称直径100mm~200mm的硅片，也适用于其他半导体材料晶片。
