T/CNIA 0060—2020多晶硅用氢气中磷化氢含量的测定 气相色谱法.pdf，行业分类电子和电工机械专用设备制造。
内容简要 本标准规定了多晶硅用氢气中磷化氢含量的气相色谱测定方法。本标准适用于多晶硅用氢气中磷化氢含量的测定，测定范围为0.02×10-9～1×10-5(v/v)。…
T/CNIA 0060—2020多晶硅用氢气中磷化氢含量的测定 气相色谱法.pdf，行业分类电子和电工机械专用设备制造。
内容简要 本标准规定了多晶硅用氢气中磷化氢含量的气相色谱测定方法。本标准适用于多晶硅用氢气中磷化氢含量的测定，测定范围为0.02×10-9～1×10-5(v/v)。…