T/CNIA 0017—2019多晶硅用氯硅烷中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法.pdf，行业分类常用有色金属冶炼。
内容简要 本标准规定了多晶硅用氯硅烷中杂质（硼、磷、铁、钙、铝、铬、镍、铜、锌、钛、钾、钠）含量的电感耦合等离子体质谱测定方法。本标准适用于多晶硅用氯硅烷中杂质（硼、磷、铁、钙、铝、铬、…
T/CNIA 0017—2019多晶硅用氯硅烷中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法.pdf，行业分类常用有色金属冶炼。
内容简要 本标准规定了多晶硅用氯硅烷中杂质（硼、磷、铁、钙、铝、铬、镍、铜、锌、钛、钾、钠）含量的电感耦合等离子体质谱测定方法。本标准适用于多晶硅用氯硅烷中杂质（硼、磷、铁、钙、铝、铬、…