T/CNIA 0016—2019多晶硅用回收氢气中氯化氢、氮气、氧气、总碳含量的测定 气相色谱法.pdf，行业分类常用有色金属冶炼。
内容简要 本标准规定了多晶硅用回收氢气中氯化氢、氮气、氧气、总碳含量的气相色谱测定方法。本标准适用于多晶硅用回收氢气的氯化氢、氮气、氧气、总碳含量的测定，测定范围为（0-10000）×1…
T/CNIA 0016—2019
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内容简要 本标准规定了多晶硅用回收氢气中氯化氢、氮气、氧气、总碳含量的气相色谱测定方法。本标准适用于多晶硅用回收氢气的氯化氢、氮气、氧气、总碳含量的测定，测定范围为（0-10000）×1…