GB/T 34178—2017

GB/T 34178—2017光掩模石英玻璃基板.pdf， 行业分类玻璃和陶瓷工业。

此标准规定了光掩模石英玻璃基板（以下简称石英玻璃基板）的术语和定义、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。

此标准适用于半导体集成电路、光通讯、微机电系统（MEMS)、光电器件和发光二级管（LED）等光刻工艺中光掩模石英玻璃基板。