GB/T 16524—1996

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GB/T 16524—1996光掩模对准标记规范.pdf，行业分类电子学。

本规范规定了所有光掩模上使用的对准标记的形状、尺寸范围和一般位置。本规范适用于光掩模。

GB/T 16524—1996

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