GB/T 16880—1997

GB/T 16880—1997光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则.pdf， 行业分类电子学。

本准则的范围是制定有关光掩模缺陷分类用的标准术语，并规定缺陷大小的表达方法。确定光掩模缺陷时应遵循这个准则。