GB/T 16943—2009电子工业用气体 氦.pdf， 行业分类化工技术。
u3000u3000此标准规定了氦的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 u3000u3000此标准适用于以深冷法从天然气、空气和工厂弛放气中提取的气态和液态氦，以及经纯化方法得到的氦。它们在半导体制照中用作清洗气、加压气，也用作载气和保护气等。
GB/T 16943—2009电子工业用气体 氦.pdf， 行业分类化工技术。
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