GB/T 16944—2009电子工业用气体 氮.pdf， 行业分类化工技术。
u3000u3000此标准规定了电子工业用气体氮的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 u3000u3000此标准适用于以深冷法从空气中提取的气态和液态氮，以及经电化学方法得到的氮。它们在超大规模集成电路制造中用作保护、吹扫、覆盖、、加压，化学气相淀积等。
GB/T 16944—2009电子工业用气体 氮.pdf， 行业分类化工技术。
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