GB/T 16945—2009电子工业用气体 氩.pdf， 行业分类化工技术。
u3000u3000此标准规定了氩的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。 u3000u3000此标准适用于以深冷法从空气、合成氨尾气中提取的液态和气态氩以及经纯化方法得到的氩。 u3000u3000氩用于系统的吹扫、保护和增压，它还可以用于化学汽相淀积、溅射、等离子及活性离子刻蚀剂和退火等不同工艺中。
GB/T 16945—2009电子工业用气体 氩.pdf， 行业分类化工技术。
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