GB/T 24580—2009重掺n型硅衬底中硼沾污的二次离子质谱检测方法.pdf， 行业分类电气工程。
此标准规定了重掺n型硅衬底中硼沾污的二次离子质谱测试方法。此标准适用于二次离子质谱法(SIMS)对重掺n型硅衬底单晶体材料中痕量硼沾污(总量)的测试。
GB/T 24580—2009
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此标准规定了重掺n型硅衬底中硼沾污的二次离子质谱测试方法。此标准适用于二次离子质谱法(SIMS)对重掺n型硅衬底单晶体材料中痕量硼沾污(总量)的测试。