GB/T 14140—2009硅片直径测量方法.pdf， 行业分类电气工程。
u3000u3000此标准规定了用光学投影仪测量硅片直径的方法。 u3000u3000此标准适用于测量圆形硅片的直径，可测最大直径为Φ300mm。此标准不适用于测量硅片的不圆度。
GB/T 14140—2009
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u3000u3000此标准规定了用光学投影仪测量硅片直径的方法。 u3000u3000此标准适用于测量圆形硅片的直径，可测最大直径为Φ300mm。此标准不适用于测量硅片的不圆度。