GB/T 13388—2009硅片参考面结晶学取向X射线测试方法.pdf， 行业分类电气工程。
u3000u3000硅片的参考面结晶学取向（晶向）是一个重要的材料验收参数。在半导体器件工艺中，一般利用参考面来校准半导体器件的几何图形阵列与结晶学晶面及晶向的一致性。
GB/T 13388—2009硅片参考面结晶学取向X射线测试方法.pdf， 行业分类电气工程。
u3000u3000硅片的参考面结晶学取向（晶向）是一个重要的材料验收参数。在半导体器件工艺中，一般利用参考面来校准半导体器件的几何图形阵列与结晶学晶面及晶向的一致性。