GB/T 6618—2009硅片厚度和总厚度变化测试方法.pdf， 行业分类电气工程。
u3000u3000此标准规定了硅单晶切割片、研磨片、抛光片和外延片（简称硅片）厚度和总厚度变化的分立式和扫描式测量方法。 u3000u3000此标准适用于符合GB/T12964、GB/T12965、GB/T14139规定的尺寸的硅片的厚度和总厚度变化的测量。在测试仪器允许的情况下，此标准也可用于其他规格硅片的厚度和总厚度变化的测量。
GB/T 6618—2009硅片厚度和总厚度变化测试方法.pdf， 行业分类电气工程。
u3000u3000此标准规定了硅单晶切割片、研磨片、抛光片和外延片（简称硅片）厚度和总厚度变化的分立式和扫描式测量方法。 u3000u3000此标准适用于符合GB/T12964、GB/T12965、GB/T14139规定的尺寸的硅片的厚度和总厚度变化的测量。在测试仪器允许的情况下，此标准也可用于其他规格硅片的厚度和总厚度变化的测量。