GB/T 31058—2014

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GB/T 31058—2014电子工业用气体 四氟化硅.pdf, 行业分类化工技术。

此标准规定了四氟化硅的技术要求、试验方法、标志、包装、运输和贮存等内容。此标准适用于萤石硫酸法、六硅酸盐热分解法、单质硅直接化法制备的四氟化硅它主要用作电子工业中等离子蚀刻、发光二极管P形掺杂、离子注入工艺、外延沉积扩散的硅源和光导纤维用高纯石英玻璃的原料,也是生产多晶硅的重要原料。分子式:SiF4。相对分子质量:104.0786128(按2009年国际原子相对质量)。

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