GB/T 18867—2014电子工业用气体 六氟化硫.pdf， 行业分类化工技术。
此标准规定了六氟化硫的技术要求、试验方法、标志、包装、贮存及安全等。此标准适用于硫与氟直接反应并经精制和纯化制备的六氟化硫。该产品主要用作电子工业中化学气相沉积室的清洗剂和等离子蚀刻剂等。
GB/T 18867—2014电子工业用气体 六氟化硫.pdf， 行业分类化工技术。
此标准规定了六氟化硫的技术要求、试验方法、标志、包装、贮存及安全等。此标准适用于硫与氟直接反应并经精制和纯化制备的六氟化硫。该产品主要用作电子工业中化学气相沉积室的清洗剂和等离子蚀刻剂等。