GB/T 14602—2014电子工业用气体 氯化氢.pdf， 行业分类化工技术。
此标准规定了氯化氢的技术要求、试验方法、标志、包装、贮运及安全。此标准适用于以工业化氢为原料，采用纯化制得的化氢产品。该产品主要用于微电子工业中气相抛光、外延和刻蚀工艺，也可用于硬质合金、玻璃表面处理、医药中间体和精细化学品制造、科学研究等领域。分子式：HC1。相对分子质量：36.458（按2009年国际相对原子质量计算）。
GB/T 14602—2014电子工业用气体 氯化氢.pdf， 行业分类化工技术。
此标准规定了氯化氢的技术要求、试验方法、标志、包装、贮运及安全。此标准适用于以工业化氢为原料，采用纯化制得的化氢产品。该产品主要用于微电子工业中气相抛光、外延和刻蚀工艺，也可用于硬质合金、玻璃表面处理、医药中间体和精细化学品制造、科学研究等领域。分子式：HC1。相对分子质量：36.458（按2009年国际相对原子质量计算）。