GB/T 26112—2010

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GB/T 26112—2010微机电系统(MEMS)技术 微机械量评定总则.pdf, 行业分类电子学。

此标准规定了微机械量的评定基本原则、评定要素、评定程序、评定方法以及评定规则。此标准适用于企业、研究机构、枪测机构从事微机电挂术及产品的研究、设计、生产、检测及使用。

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