GB/T 26113—2010微机电系统（MEMS）技术 微几何量评定总则.pdf， 行业分类电子学。
此标准规定了微几何量的评定基本原则、评定要素、评定程序、评定方法以及评定规则。此标准适用于企业、研究机构、检测机构等从事微机电技术及产品的研究、设计、生产、检测。
GB/T 26113—2010微机电系统（MEMS）技术 微几何量评定总则.pdf， 行业分类电子学。
此标准规定了微几何量的评定基本原则、评定要素、评定程序、评定方法以及评定规则。此标准适用于企业、研究机构、检测机构等从事微机电技术及产品的研究、设计、生产、检测。