GB/T 16527—1996硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂规范.pdf， 行业分类电子学。
此标准规定了硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂涂层的要求、试验方法等内容。此标准适用于硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂的涂层检验。
GB/T 16527—1996
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此标准规定了硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂涂层的要求、试验方法等内容。此标准适用于硬面感光板中光致抗蚀剂和电子束抗蚀剂的涂层检验。