T/CIE 132—2022磁控溅射设备薄膜精度测试方法.pdf，行业分类集成电路设计。
内容简要 本标准给出了磁控溅射设备薄膜精度评价的术语、测试原理、被测件、测试环境、测试设备、测试程序等。本标准适用于磁控溅射设备沉积薄膜精度的验证。…
